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Réflectométrie des rayons X

Réflectométrie

 

 

La Réflectivité spéculaire des rayons X (XRR), une technique liée à diffraction des rayons X (DRX), est en train de devenir un outil largement utilisé pour la caractérisation de couches minces et de structures multicouches. La diffusion des rayons X à très petits angles de diffraction permet de caractériser des profils de densité d'électrons des couches minces jusqu'à quelques dizaines de Ǻ

Lorsque les rayons X frappent une surface à incidence rasante ils peuvent se réfléchir sur la surface. Toutefois, si la surface est rugueuse ou recouvert d'un film, alors la réflectivité des rayons X d'une surface peut changer. La réflectométrie tire parti de cet effet en mesurant l'intensité des rayons X réfléchis par une surface en fonction de l'angle. Les couches minces sur une surface peuvent donner lieu à des oscillations de l'intensité des rayons X avec un angle

La réflectométrie consiste à contrôler l'intensité du faisceau de rayons X réfléchi par un échantillon à des angles rasants.

Un faisceau monochromatique de rayons X de longueur d'onde λ irradie un échantillon à un angle rasant ϖ et l'intensité réfléchie à un angle 2θ est enregistrée par un détecteur.


Les principales applications sont la détermination de :

* Epaisseur du film (épaisseur maximale de film ~ 300nm)

* Interface / rugosité de surface

* Densité pour les films minces et multi-couches (de l'ordre de couches et de leurs compositions approximatives sont nécessaires afin de fournir des résultats précis de densité)